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產(chǎn)品中心

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MDPlinescan
產(chǎn)品簡介

靈活的OEM設(shè)備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-02-11
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1853
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應(yīng)用范圍:靈活的OEM設(shè)備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。

在線面掃和單點檢測

MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元,可集成到各種自動化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實例從晶錠到晶圓的檢測,每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是用的一種應(yīng)用方向,同樣,鈍化和擴散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

 

 

還有許多其他的專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成,只需要以太網(wǎng)連接和電源。                                                              
  

特性

允許單片調(diào)查
配方的基礎(chǔ)測量
監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

優(yōu)勢
在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓在不同的準備階段,直到設(shè)備,磚或錠。
小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。重點是長時間的可靠性和測量結(jié)果的精度。

 

技術(shù)參數(shù)

樣品

多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞

樣品尺寸

大約50 x 50 mm2

電阻率

0.2 - 103 Ohm cm

conduction type

p, n

材質(zhì)

硅晶圓,部分或*加工的晶圓,復(fù)合半導(dǎo)體等

測量屬性

載流子壽命

硬件接口

ethernet

大小

174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg

電源

24 V DC, 2 A

 

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